真空爐即在爐腔這一特定空間內(nèi)利用真空系統(tǒng)（由真空泵、真空測量裝置、真空閥門等元件經(jīng)過精心組裝而成）將爐腔內(nèi)部分物質(zhì)排出，使?fàn)t腔內(nèi)壓強(qiáng)小于一個標(biāo)準(zhǔn)大氣壓，爐腔內(nèi)空間從而實(shí)現(xiàn)真空狀態(tài)，這就是真空爐。 真空爐一般由主機(jī)、爐膛、電熱裝置、密封爐殼、真空系統(tǒng)、供電系統(tǒng)、控溫系統(tǒng)和爐外運(yùn)輸車等組成。密封爐殼用碳鋼或不銹鋼焊成，可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。為防止?fàn)t殼受熱后變形和密封材料受熱變質(zhì)，爐殼一般用水冷或氣冷降溫。爐膛位于密封爐殼內(nèi)。根據(jù)爐子用途,爐膛內(nèi)部裝有不同類型的加熱元件，如電阻、感應(yīng)線圈、電極和電子槍等。熔煉金屬的真空爐爐膛內(nèi)裝有坩堝，有的還裝有自動澆注裝置和裝卸料的機(jī)械手等。真空系統(tǒng)主要由真空泵、真空閥門和真空計等組成。
真空環(huán)境中進(jìn)行加熱的設(shè)備。在金屬罩殼或石英玻璃罩密封的爐膛中用管道與高真空泵系統(tǒng)聯(lián)接。爐膛真空度可達(dá)133×(10~10)Pa。爐內(nèi)加熱系統(tǒng)可直接用電阻爐絲(如鎢絲)通電加熱，也可用高頻感應(yīng)加熱。醉高溫度可達(dá)3000℃左右。主要用于陶瓷燒成、真空冶煉、電真空零件除氣、退火、金屬件的釬焊，以及陶瓷-金屬封接等。
真空爐即真空熱處理爐，根據(jù)應(yīng)用設(shè)備來區(qū)分，大概包含以下種類:
真空淬火爐、真空釬焊爐 、真空退火爐、真空加磁爐、真空回火爐、真空燒結(jié)爐、真空擴(kuò)散焊爐、真空滲碳爐等。
真空爐按加熱方式分為真空電阻爐、真空感應(yīng)爐、真空電弧爐、真空自耗電弧爐、電子束爐(又稱電子轟擊爐)和等離子爐等。
